真空系统将电子束蒸发和磁控溅射技术结合在一个真空周期中

 特征：

• 单个制造过程中薄膜两侧的薄膜的磁控管和电子束沉积

• 波长的全自动光学监测系统从紫外线到中期（电子束模块）

• 石英控制系统（磁控管模块和电子束模块）

• 将设备集成到干净房间的可能性

设备包括三个模块：

电子束技术模块 - 设计用于通过电子束蒸发涂层，并在基板的一侧同时辅助。

磁铁工艺模块 - 由磁铁溅射涂层，并在基板的第二侧进行RF预洗。

加载模块 - 提供在基板支架上的基板手动安装，并在不发泄过程室的情况下将基板支架自动移动到过程模块中。

将涂层应用于固定在圆盘基板支架上的基板。使用石英厚度监视器和光学控制的离子清洁和辅助，蒸发和溅射的过程的完全自动化，可以获得具有所需属性并保证可重复性的涂层。

技术数据：

技术设备：

• DC-磁铁

• RF-MAGNETRON

• 电子束

• 电阻蒸发器

• RF离子源

• 离子光束清洁源